岩濑商事为你简单分析CHEMIS化学螺丝半导体用螺丝产品的一些基本要求。
在半导体制造设备当中, 一颗螺丝要是失效的话, 就可能意味着整条产线的停摆。化学螺丝可不是那种普通的紧固件, 它是借助特殊的表面处理技术才得以在螺纹表面形成一层致密的化学转化膜, 而正是这层膜让螺丝在置身于真空、面临高温以及处于强腐蚀环境下时依旧能够保持稳定的锁紧力。
极其敏感的半导体设备十分容易受到金属污染, 哪怕只是有微量的铁离子析出, 都会致使晶圆良率下降。化学螺丝用材是高纯度合金基材, 还配合了无电解镍或者特殊镀层工艺, 能够有效抑制金属离子析出, 足以满足SEMI标准提出的对洁净度的严苛要求。在刻蚀、薄膜沉积等工序当中, 这种能够抗析出的特性与产品良率有着直接关系。
频繁的冷热循环作用于设备, 会致使普通螺丝渐渐地松动。化学转化膜加以改变, 让螺纹间的摩擦系数得以改变, 故而使得锁紧扭矩变得更精准 , 而预紧力衰减幅度明显更低, 比镀锌处理件以及发黑处理件都要低。这也就代表着, 设备维护周期能够被拉长, 停机检查次数会变少, 对于产线稼动率是真实有的、实实在在的提升。
选型之际, 还需留意螺丝的耐药品性, 光刻胶会侵蚀普通紧固件，显影液会侵蚀普通紧固件, 酸性清洗剂会侵蚀普通紧固件, 化学螺丝的钝化层能够抵抗多数半导体工艺化学品, 在CMP抛光液里仍可保持外观完整以及尺寸稳定, 在氢氟酸稀释液里仍可保持外观完整以及尺寸稳定, 能避免因腐蚀颗粒污染晶圆。
常关心交期以及批次一致性的是采购负责人, 化学螺丝运用全检方法出厂, 每一批货物携带材证明, 还有盐雾测验报告, 从而于源头避免混料风险, 对于生产设备原厂, 以及晶圆厂来讲, 选择已经经过验证的化学螺丝, 就如同给整条产线的稳定运行额外增加一份保障。
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